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标题: NG-A-PCI高分辨率纳米编码器 [打印本页]

作者: zzsna 时间: 2018-5-8 17:27
标题: NG-A-PCI高分辨率纳米编码器
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产品说明： XY编码器或者叫栅格，在X和Y方向上以10um作为基础周期，整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。 NG-A-PCI是用于测量二维超精密的平面位移的测量系统。NG是一个XY网格编码器系统，湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的，该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中，能够保证其达到激光干涉仪的精度，并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。
主要特点：

亚纳米的分辨率；
重复性小于5nm；
低阿贝误差；
对湍流效应及大气压强变化不敏感；
占地面积小，重量轻；
可选真空版本；
易于安装，包括栅格安装的应力消除；
栅格和探头的间隙为12mm；
对准误差低；
完善的技术支持；可定制；
高速运作。
应用领域：
- 高精度低成本的位置控制；
- 实时校准；
- 精密金刚石车削实验室；
- 镜头自动对焦；

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