离子束加工的特点 - 自动化论坛

(1)由于离子束可以通过光学系统进行聚焦扫描，离子束轰击材料是逐层击除原子，离子束流密度及离子能量可以精确控制，所以离子刻蚀可以达到纳米(nm)级的加工精度，离子镀膜可以控制在亚微米级精度，离子注入的深度和浓度也可以极精确地控制。可以说，离子束加工是最有前途的超精密和微细加工方法，是纳米加工技术的基础。邢台物流尼龙棒价格

(2)由于离子束加工是在真空中进行的，因此污染少，特别适用于对易氧化的金属、合金材料和半导体材料的加工。