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标题:
离子镀覆简介
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作者:
www.hbenyi.com
时间:
2014-1-14 14:51
标题:
离子镀覆简介
离子镀覆是将一定能量的离子束轰击某种材料制成的靶,离子将靶材粒子击出,使其镀覆到靶材附近的工件表面上。离子镀覆所利用的也是溅射效应,但其目的不是加工而是镀膜,以改善工件材料的表面性能。
镀覆时将镀膜材料置于靶上,一般使靶面与离子束方向成角度接受离子束的轰击,被镀工件表面应与溅射粒子运动方向相垂直。离子镀覆的膜层附着力强,镀层组织致密,可镀材料广泛,各种金属、非金属、合金、化台物、半导体、高熔点材料和某些合成材料等均可镀覆。
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