半导体等离子应用的最高功率固态微波产生器

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  业界领先的高性能射频(RF)匹配网络，射频发电机和半导体製造气体流量管理系统的生产商Reno Sub-Systems 在SEMICON West公佈了其Precis固态发电机系列的最新产品。新的Precis固态发电机能够以2.45GHz输出1.6kW功率的微波，这是致力于半导体等离子应用的最高功率固态微波产生器。该公司的发电机满足了半导体业对先进子系统技术日益增长的需求，以协助行业保持摩尔定律的步伐。

  “几十年来，子系统首次实现了新的製程和未来的元件世代。 ” Reno Sub-Systems 的首席执行官Bob MacKnight表示，“我们技术得到业界广泛认可，80%的顶级半导体元件製造商和设备製造商已经订购了Reno的产品。”

  recis微波发电机使用高度可靠的固态架构以提供精确，可重复和稳定的微秒斜坡时间。与相对应的磁控管技术的微波发电机相比，Precis的微波功率控制可以提供显着提升的频率控制。消除老化的磁控管技术也降低了维护要求，从而降低了所有权成本。

  recis系列发电机是Reno 公司卓越的Velocity系列EVC匹配网络产品组合的最新产品。 Velocity EVC匹配网络具有超群的性能和处理能力，实现范围从500W至4.5kW，频率为500kHZ至40MHz。