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离子束加工的特点

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楼主
发表于 2014-1-14 14:48:54 |只看该作者 |正序浏览
  (1)由于离子束可以通过光学系统进行聚焦扫描,离子束轰击材料是逐层击除原子,离子束流密度及离子能量可以精确控制,所以离子刻蚀可以达到纳米(nm)级的加工精度,离子镀膜可以控制在亚微米级精度,离子注入的深度和浓度也可以极精确地控制。可以说,离子束加工是最有前途的超精密和微细加工方法,是纳米加工技术的基础。邢台物流  尼龙棒价格
  (2)由于离子束加工是在真空中进行的,因此污染少,特别适用于对易氧化的金属、合金材料和半导体材料的加工。

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