NG-A-PCI高分辨率纳米编码器

zzsna

产品说明： XY编码器或者叫栅格，在X和Y方向上以10um作为基础周期，整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。 NG-A-PCI是用于测量二维超精密的平面位移的测量系统。NG是一个XY网格编码器系统，湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的，该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中，能够保证其达到激光干涉仪的精度，并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。
主要特点：

• 亚纳米的分辨率；

• 重复性小于5nm；

• 低阿贝误差；

• 对湍流效应及大气压强变化不敏感；

• 占地面积小，重量轻；

• 可选真空版本；

• 易于安装，包括栅格安装的应力消除；

• 栅格和探头的间隙为12mm；

• 对准误差低；

• 完善的技术支持；可定制；

• 高速运作。
  应用领域：

  • 高精度低成本的位置控制；

  • 实时校准；

  • 精密金刚石车削实验室；

  • 镜头自动对焦；