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NG-A-PCI高分辨率纳米编码器

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发表于 2018-5-8 17:27:23 |显示全部楼层

产品说明: XY编码器或者叫栅格,在X和Y方向上以10um作为基础周期,整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。 NG-A-PCI是用于测量二维超精密的平面位移的测量系统。NG是一个XY网格编码器系统,湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的,该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中,能够保证其达到激光干涉仪的精度,并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。
主要特点:
  • 亚纳米的分辨率;

  • 重复性小于5nm;

  • 低阿贝误差;

  • 对湍流效应及大气压强变化不敏感;

  • 占地面积小,重量轻;

  • 可选真空版本;

  • 易于安装,包括栅格安装的应力消除;

  • 栅格和探头的间隙为12mm;

  • 对准误差低;

  • 完善的技术支持;可定制;

  • 高速运作。
    应用领域:

    • 高精度低成本的位置控制;

    • 实时校准;

    • 精密金刚石车削实验室;

    • 镜头自动对焦;





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