离子束加工的应用

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离于束加工的应用范围正在日益扩大、不断创新。目前，用于改变零件尺寸和表面机械物理性能的离子束加工有：用于从工件上去除加下的离子刻蚀加工，用于给工件表面添加材料的离子镀膜加工，用于表面改性的离子注入加工等。旋切机  液压找圆机

  离子刻蚀加工是通过撞击从工件上去除材料的过程。当离子束轰击工件，入射离子的动能传递到靶原子，传递的能量超过原子间的键合力时，靶原子就从工件表面溅射出来，达到刻蚀的目的。为了避免入射离子与工件材料发生化学反应，必须用惰性元素的离子。氩气的原子序数高，而且价格便宜，所以，通常用氩离子进行轰击刻蚀。由于离子直径很小(约十分之几个纳米)，因此可以认为离子刻蚀的过程是逐个原子剥离的。刻蚀的分辨率可达亚微米级，但刻蚀速度很低，剥离速度大约每秒一层到几十层原子。